現(xiàn)代三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)都配備有計(jì)算機(jī)，由計(jì)算機(jī)來(lái)采集數(shù)據(jù)，通過(guò)運(yùn)算輸出所需的測(cè)量結(jié)果。其軟件系統(tǒng)功能的強(qiáng)弱直接影響到測(cè)量機(jī)的功能。因此各坐標(biāo)測(cè)量機(jī)生產(chǎn)廠家都非常重視軟件系統(tǒng)的研究與開(kāi)發(fā)，在這方面投入的人力和財(cái)力的比例在不斷增加。下面對(duì)在三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)中使用的軟件作簡(jiǎn)要介紹。

編程軟件
為了使三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)能實(shí)現(xiàn)自動(dòng)測(cè)量，需要事前編制好相應(yīng)的測(cè)量程序。而這些測(cè)量程序的編制有以下幾種方式。

（一）圖示及窗口編程方式
圖示及窗口編程是*簡(jiǎn)單的方式，它是通過(guò)圖形菜單選擇被測(cè)元素，建立坐標(biāo)系，并通過(guò)“窗口”提示選擇操作過(guò)程及輸入?yún)?shù)，編制測(cè)量程序。該方式僅適用于比較簡(jiǎn)單的單項(xiàng)幾何元素測(cè)量的程序編制。

（二）自學(xué)習(xí)編程方式
這種編程方式是在CNC測(cè)量機(jī)上，由操作者引導(dǎo)測(cè)量過(guò)程，并鍵入相應(yīng)指令，直到完成測(cè)量，而由計(jì)算機(jī)自動(dòng)記錄下操作者手動(dòng)操作的過(guò)程及相關(guān)信息，并自動(dòng)生成相應(yīng)的測(cè)量程序，若要重復(fù)測(cè)量同種零件，只需調(diào)用該測(cè)量程序，便可自動(dòng)完成以前記錄的全部測(cè)量過(guò)程。該方式適合于批量檢測(cè)，也屬于比較簡(jiǎn)單的編程方式。

（三）脫機(jī)編程

這種方式是采用三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)生產(chǎn)廠家提供的專(zhuān)用測(cè)量機(jī)語(yǔ)言在其它通用計(jì)算機(jī)上預(yù)先編制好測(cè)量程序，它與坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的開(kāi)啟無(wú)關(guān)。編制好程序后再到測(cè)量機(jī)上試運(yùn)行，若發(fā)現(xiàn)錯(cuò)誤則進(jìn)行修改。其優(yōu)點(diǎn)是能解決很復(fù)雜的測(cè)量工作，缺點(diǎn)是容易出錯(cuò)。

（四）自動(dòng)編程
在計(jì)算機(jī)集成制造系統(tǒng)中，通常由CAD/CAM系統(tǒng)自動(dòng)生成測(cè)量程序。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)一方面讀取由CAD系統(tǒng)生成的設(shè)計(jì)圖紙數(shù)據(jù)文件，自動(dòng)構(gòu)造虛擬工件，另一方面接受由CAM加工出的實(shí)際工件，并根據(jù)虛擬工件自動(dòng)生成測(cè)量路徑，實(shí)現(xiàn)無(wú)人自動(dòng)測(cè)量。這一過(guò)程中的測(cè)量程序是完全由系統(tǒng)自動(dòng)生成的。

測(cè)量軟件包可含有許多種類(lèi)的數(shù)據(jù)處理程序，以滿足各種工程需要。一般將三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的測(cè)量軟件包分為通用測(cè)量軟件包和專(zhuān)用測(cè)量軟件包。通用測(cè)量軟件包主要是指針對(duì)點(diǎn)、線、面、圓、圓柱、圓錐、球等基本幾何元素及其形位誤差、相互關(guān)系進(jìn)行測(cè)量的軟件包。通常各三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)都配置有這類(lèi)軟件包。專(zhuān)用測(cè)量軟件包是指坐標(biāo)測(cè)量機(jī)生產(chǎn)廠家為了提高對(duì)一些特定測(cè)量對(duì)象進(jìn)行測(cè)量的測(cè)量效率和測(cè)量精度而開(kāi)發(fā)的各類(lèi)測(cè)量軟件包。如有不少三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)配備有針對(duì)齒輪、凸輪與凸輪軸、螺紋、曲線、曲面等常見(jiàn)零件和表面測(cè)量的專(zhuān)用測(cè)量軟件包。